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公司新聞

日本福樂FLUORO非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列

非接觸式晶圓傳送伯努利卡盤BC系列的特點(diǎn)

伯努利卡盤BC-K系列
  • 主體可選擇20度、45度、90度，水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。
    （使用角度是固定的，不改變主體就無法改變使用角度。）
  • 由于導(dǎo)向擋塊具有輕微的錐度，因此晶片的邊緣會(huì)在一點(diǎn)處接觸。
  • 由抗靜電聚碳酸酯制成的導(dǎo)向環(huán)可以目視確認(rèn)定位和吸附狀態(tài)。
  • 主體采用導(dǎo)電尼龍樹脂，實(shí)現(xiàn)了輕量化。
  • 它可以處理雙面印刷有圖案的晶圓，以及難以處理的薄至 50μm 的晶圓。
  • 我們還支持與目標(biāo)對(duì)象相匹配的定制設(shè)計(jì)產(chǎn)品，例如方形。

伯努利卡盤BC-K系列
  • 由于伯努利卡盤使用高壓，出于**考慮，我們建議使用按鈕朝下，就像氣    槍一樣。（請(qǐng)參閱左圖。）

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列的工作原理

當(dāng)晶圓放置在導(dǎo)向環(huán)的四個(gè)白色銷釘內(nèi)并按下啟動(dòng)按鈕時(shí)，晶圓會(huì)浮起并接近中心。之后用黑色方銷固定，可以無接觸運(yùn)輸。

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤 BC 系列產(chǎn)品概述

伯努利卡盤BC-K系列

◆請(qǐng)從20度、45度、90度中選擇主機(jī)。通過更換導(dǎo)向環(huán)可以處理各種晶圓。導(dǎo)環(huán)更換也很容易。



為了保證真空鑷子能夠長(zhǎng)期安心使用，我們進(jìn)行了長(zhǎng)期閥門耐久測(cè)試，每天重復(fù)開關(guān)按鈕8小時(shí)。
在0.3Mpa氣壓下進(jìn)行。

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