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產(chǎn)品資料

ULVAC愛發(fā)科成膜設(shè)備可選部件

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科成膜設(shè)備可選部件
產(chǎn)品型號: PSE 系列
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據(jù)規(guī)格的選擇在成膜控制器與溫度調(diào)節(jié)計的組合下控制


ULVAC愛發(fā)科成膜設(shè)備可選部件  的詳細(xì)介紹

成膜設(shè)備可選部件

蒸發(fā)電源SEREM系列

PSE 系列

ULVAC



蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據(jù)規(guī)格的選擇在成膜控制器與溫度調(diào)節(jié)計的組合下控制



規(guī)格

ph_pse150c.jpg

PSE-150C

zu_psc150c.gif

電壓 AC 100V 單相 0.8kVA(50/60Hz)允許電壓變動范圍=±10%
負(fù)荷電流 Max. 80A
控制信號 外部自動控制輸入 DC-0~10V/0~100%設(shè)定接收阻抗 1MΩ
電力控制方式 晶閘管交流相位控制系統(tǒng)(輸出穩(wěn)定精度:±10%?輸出變動±2%)
定格 30分
外形尺寸 480mm(W)×360mm(D)×149mm(H)(不包括突起部分和配件)
質(zhì)量 約24kg

選項

標(biāo)準(zhǔn)代碼 PSE-
15C11111
PSE-
15C21111
PSE-
15C31111
PSE-
15C12211
PSE-
15C22211
PSE-
15C32211
輸出位置切換功能 1點切換 2點切換 3點切換 1點切換 2點切換 3點切換
小電力切換功能
通過成膜控制器自動控制
通過溫度指示調(diào)節(jié)器自動控制
輸出遙控 選項 選項 選項 選項 選項 選項

標(biāo)準(zhǔn)代碼

項目 代碼 規(guī)格
1. 系列 PSE- 抵抗加熱式真空蒸著設(shè)備用蒸發(fā)電源、面板安裝系統(tǒng)、數(shù)字顯示
2. 電源容量→ 輸出容量可以選擇。 8 輸入:單相100V、輸出:80A(max) 0~10V 0.8kVA(max)※注1
5 輸入:單相200V、輸出:150A(max) 0~10V 1.5kVA(max)
3. 控制方式 C 自動定輸出反饋控制(恒定電流/定電壓/定電力 選擇方式)
4. 輸出位置切換功能
→ 可根據(jù)蒸發(fā)源的電極構(gòu)成進行選擇。
1 無:1點
2 2點切換
3 3點切換
5. 小電力切換功能→
可應(yīng)用于有機物等小型輸出調(diào)整
1
2 低輸出(0~50A)/高輸出(0~150A)變壓器切換
6. 自動控制器功能
→ 具有通過成膜控制器自動控制輸出的功能。
1 無:手動調(diào)整
2 具有膜厚儀輸出自動控制功能(固定)
3 通過膜厚儀或溫度調(diào)節(jié)計,可以具有自動輸出控制功能(切換)
7. 內(nèi)置溫度指示調(diào)節(jié)計
→ 具有通過溫度調(diào)節(jié)計自動進行輸出控制的功能。
1
2 有(PID控制方式)※注2
8. 輸出遙控→ 監(jiān)視真空槽內(nèi)的同時有效地進行輸出調(diào)整 2
2 有(ON/OFF、UP/DOWN操作)

※注1 可對應(yīng)輸出位置切換功能、膜厚儀自動功能、輸出遙控(小電力功能/溫度自動功能/溫調(diào)計功能不能對應(yīng))
※注2 僅自動控制器功能 [3] 選擇時適用


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