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產(chǎn)品資料

日本USHIO牛尾SUPER CONNECT用步進及重復(fù)曝光裝置 UX-7四川成都優(yōu)勢供應(yīng)

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產(chǎn)品名稱: 日本USHIO牛尾SUPER CONNECT用步進及重復(fù)曝光裝置 UX-7四川成都優(yōu)勢供應(yīng)
產(chǎn)品型號: UX-7
產(chǎn)品展商: 日本USHIO牛尾
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

日本USHIO牛尾SUPER CONNECT用步進及重復(fù)曝光裝置 UX-7四川成都優(yōu)勢供應(yīng) 日本USHIO牛尾SUPER CONNECT用步進及重復(fù)曝光裝置 UX-7四川成都優(yōu)勢供應(yīng)


日本USHIO牛尾SUPER CONNECT用步進及重復(fù)曝光裝置 UX-7四川成都優(yōu)勢供應(yīng)  的詳細介紹

與傳統(tǒng)步進及接近曝光裝置相較之下,可大幅減少二氧化碳,是*適合Super Connect范圍設(shè)計規(guī)則(約10μmL/S)之步進及重復(fù)投影曝光方式的初步進機(Rough Stepper)。

特征

?*高throughput
對*大φ300  晶圓,以1次曝光*大口徑55的方式,實施步進及重復(fù)曝光。
配備專用設(shè)計的高輸出燈,實現(xiàn)高throughput。
?鏡片的搭配組合
依據(jù)阻劑的感度波長、膜厚或基板高低差異等,從各種鏡片搭配組合中,選擇* 佳鏡片。
?較深的焦點深度
解析力3μmL/S鏡片的焦點深度±10μm,5μmL/S鏡片具有焦點深度±40μm,
適用于厚膜及基板的高低差異與彎曲。
?高**度重疊
配備鐳射干擾計的臺子,保證重疊**度±1.5μm。
?以遮光板降低遮罩成本
配備可將一片遮罩分割成四個區(qū)域的「遮罩滑動機構(gòu)與遮光板」。
一片遮罩可以遮住數(shù)層。

主要用途

?Wafer Level CSP
?Gold Bumps
?3次元實裝(貫通基板)
?Flip Chip BGA
?焊錫凸塊半導(dǎo)體裝置絕緣層的襯墊開口
?MEMS
?SIP(System In Package)等



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