成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測(cè)設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測(cè)設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
產(chǎn)品型號(hào): CR6300
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測(cè)設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
運(yùn)用ADR和高精度ADC來為提高良率做貢獻(xiàn)的Inline缺陷觀測(cè)SEM。
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測(cè)設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測(cè)設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
的詳細(xì)介紹
特長
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高畫質(zhì)，高對(duì)此，高解析度SEM圖像
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高速缺陷攝像（ADR）
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人性化的GUI
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＜選項(xiàng)＞
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自動(dòng)缺陷分類（ADC）
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Bare wafer自動(dòng)觀測(cè)
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檢查制程說明書（iPQ）
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